X射線熒光光譜儀較常見的故障，一般發(fā)生在開機時，偶爾也發(fā)生在儀器運行中。故障的產(chǎn)生原因可以從三個方面去分析：X射線防護系統(tǒng);內(nèi)部水冷系統(tǒng);高壓發(fā)生器及X射線光管。

日本理學X射線高壓發(fā)生器常見故障分析：

X射線防護系統(tǒng)

為了防X射線漏出，高壓發(fā)生器在射線防護系統(tǒng)正常的情況下才能啟動。射線防護系統(tǒng)正常與否，主要檢查以下二部分：

1、面板的位置是否正常。 X射線熒光光譜儀是一個封閉系統(tǒng)，面板是外層的射線防護裝置，如果有一塊面板不到位，儀器就有射線泄漏的可能。因此，每塊面板上都有位置接觸傳感器，面板沒有都合上，高壓開不起來。

2、X射線的警示標志是否正常。規(guī)定X射線熒光光譜儀安裝紅色警告信號燈并與相應的開關(guān)聯(lián)動，因此如果信號燈失靈，高壓也開不起來。

有一種簡單的方法可以判斷高壓不能啟動是否是由射線防護系統(tǒng)引起，將儀器的狀態(tài)設定為維修狀態(tài)，射線防護系統(tǒng)，如果這時高壓可以開起來，就可以確定故障是由射線防護系統(tǒng)的問題引起的。