伯東企業（上海）有限公司作為德國 Pfeiffer 真空設備, 美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀, 美國 KRi 離子源, 美國 HVA 高真空閘閥, 等國際知名進口真空品牌的指定代理商, 參展 SemiCon China 2023 上海半導體展！

上海伯東憑借多年真空經驗, 在提供合適的產品同時更為您提供各類真空工藝的解決方案, 協助您優化工藝過程, 提高生產效率! 上海伯東期待您的蒞臨！

【參展時間】: 2023年6月29-7月1日

【地點】: 上海新國際博覽中心

【伯東展位】: E3號館, 3369 位置

在現場, 我們為您詳解適用于半導體行業的各類產品！

德國 Pfeiffer 氦質譜檢漏儀 ASM 390

專為半導體, 鍍膜行業研發

完全符合 Semi S2 標準

大抽速, 干式, 方便移動

德國 Pfeiffer 大抽速渦輪分子泵 HiPace 1200-2800 IT

高抽速, 高氣體吞吐量

對工藝沉積的抵抗力強

提供耐腐蝕型號

美國 KRi 大口徑射頻離子源

3層柵極設計, 柵極口徑 38cm

提供離子動能 100-1200eV 寬束離子束, 大離子束流 > 1000mA

滿足 300 mm (12英寸)晶圓刻蝕

適用于離子刻蝕, 濺射沉積 

美國 inTEST 高低溫沖擊熱流儀 ATS-710E

溫度范圍 °C: -75至+225 50Hz

防靜電設計, 自動除霜

支持 Ethernet, IEEE-488, RS232

美國 Thermonics Process Chillers 超低溫冰水機

提供 -80°C 低溫冰水機和 -120°C 超低溫冰水機

用于冷卻工藝過程中的氣體和液體

適用于半導體前端和后端各類工藝冷卻

美國 HVA 超高真空閘閥 11000 系列

口徑: DN 16 - 800 mm

極限壓力: 高真空 1x10-9 mbar; 超高真空 1x10-10 mbar

 6寸, 8寸 真空插板閥廣泛應用于半導體氣體管路中!

美國 Gel-Pak 芯片包裝盒

適用于儲存和運輸半導體精密器件, 光電器件和其他精密器件等

若您需要進一步的了解更多信息, 請聯絡上海伯東鄧女士，分機134